Research | Eterostrutture superconduttive mesoscopiche, litografia da fascio elettronico e fotolitografia (in collaborazione con CNR-SPIN)

Eterostrutture superconduttive maesoscopiche e Litografia a fascio elettronico

In Clean Room area classe 10000: Nr.1. Sputtering rf magnetron a tre catodi. Nr.1 Evaporatore termico. Nr. 1 Reactive Ion Etching.
Nr1. Ion Beam milling. Nr1. Wafer cutter. Nr. Spin coater. Nr. 1 piastra riscaldante
Nr1. Feg-Sem Inspect, microscopio a scansione effetto campo integrato con
sistema di scrittura Raith Elphy Plus per litografia da fascio elettronico.
Nr1. Microscopio a forza atomica da tavolo (Nanite AFM della Nanosurf).
A fianco Clean Room: Nr. Wedge Bonder. Nr1. Criostato Oxford a 300mK. Nr1 sistema di misura trasporto elettrico
a bassissimo rumore in presenza di campo magnetico (3 T).
Nr.1 Generatore Rf fino a 22 GHz e Spectrum analizer fino a 18 GHz.

Fotolitografia

Il laboratorio è collocato in Clean Room classe 1000, è dotato di Spinner, Allineatore di maschere, Microscopio ottico, nr. 2 Cappe chimiche, nr. 1 Deionizzatore, nr. 1 Vaschetta per pulizia con ultrasuoni, Forno statico.